Setelah cahaya memasuki beam splitter, cahaya biasa dapat dibagi menjadi tiga jenis berikut menurut panjang gelombangnya:
Dekat UV (dekat UV): 200-380nm
Vakum UV< vuv=""> : 10-200nm
Ultraviolet ekstrim, ultraviolet ekstrim (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10nm
Setelah cahaya memasuki beam splitter, cahaya biasa dapat dibagi menjadi tiga jenis berikut menurut panjang gelombangnya:
Dekat UV (dekat UV): 200-380nm
Vakum UV< vuv=""> : 10-200nm
Ultraviolet ekstrim, ultraviolet ekstrim (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10nm